在真空泵工作的各個階段都要考慮檢漏工作，由于冶金、原子能、電子、宇航技術(shù)的發(fā)展，要求制造不同用途的高真空、超高真空，甚至極高真空設(shè)備。這些設(shè)備中的某些設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜，內(nèi)部有很多管道和傳動機構(gòu)，有的體積很大，達幾十立方米，甚至數(shù)百立方米，連接管道和內(nèi)部管道的總長度可達幾公里，焊縫、密封圈的總長度可達數(shù)十公里，必須投人很大力量對設(shè)備嚴(yán)格進行檢漏，所以且應(yīng)該從設(shè)備開始設(shè)計時起就考慮檢漏問題。如果等到進行安裝時再考慮檢漏間題就可能給檢漏工作帶來很大困難。以下對設(shè)計、加工、安裝調(diào)試以及運行中的檢漏工作做以說明。

　　一、在設(shè)計階段應(yīng)考慮的問題

　　1、合理規(guī)定真空設(shè)備的最大允許漏率，由此再規(guī)定各零、部件的最大允許漏率。

　　2、要考慮加工、安裝、運轉(zhuǎn)過程中，對不同零、部件(或整個設(shè)備)采用哪種檢漏儀器和哪種檢漏方法。

　　如采用壓力檢漏法時，要考慮:

　　a.容器充氣后的耐壓性能;

　　b.容器中有無會被示漏氣體腐蝕的材料;

　　c.檢漏時焊縫的位置是否暴露在外面;

　　d.如何通進示漏氣體。

　　如采用真空檢漏法時，要考慮:

　　a.容器是否允許處于負壓狀態(tài);

　　b.檢漏儀的連接方法。

　　3、在設(shè)計中要避免“寄生空間”，這種“寄生空間”會使檢漏的反應(yīng)時間增長。

　　4、工藝設(shè)計要合理。例如，通常只允許容器的一側(cè)有焊縫，如需加強焊縫的強度，在真空一側(cè)應(yīng)采用連續(xù)焊，在非真空一側(cè)則采用斷續(xù)焊。

　　二、加工過程中應(yīng)考慮的檢漏問題

　　1、焊接件的檢漏

　　真空設(shè)備零、部件的焊縫是否需要進行檢漏，應(yīng)根據(jù)焊接質(zhì)量和設(shè)備所允許的最大漏率來確定。

　　焊縫的檢漏是在零、部件的加工過程中進行，還是在總裝以后進行，需視具體情況而定。例如，在總裝后對冷阱內(nèi)膽的焊縫進行檢漏時，由于裝配后焊縫不能暴露在外面，即使發(fā)現(xiàn)了漏孔也無法進行補焊。又如某些大容器在總裝后的容積過大，使檢漏靈敏度降得很低，檢不出小漏孔，從而達不到檢漏的要求?？紤]到類似于這樣的情況，應(yīng)在零、部件的加工過程中就對焊縫進行檢漏。

　　已檢漏了的零件在對焊縫進行切削加工后，還需要次進行檢漏。補焊后的焊縫也需要重新檢漏。

　　2、其它加工件的檢漏

　　對金屬板材一般不需檢漏(除鑄件外)，但對表面和內(nèi)部有缺陷(夾渣、氣孔、裂紋)的金屬材料，則必須進行檢漏。

　　機械加工后的工件一般也不需要檢漏。但薄壁管材經(jīng)彎曲后可能出現(xiàn)裂紋，因此需要對彎曲部位進行檢漏。

　　3、安裝調(diào)試階段應(yīng)考慮的檢翻問題

　?、俳?jīng)過檢漏的零、部件如受到較大的機械沖擊或振動，需在總裝前再次進行檢漏。

　?、诟鶕?jù)安裝順序按步驟進行檢漏。最好是在每裝好一個部件后，便對該部件和連接處進行檢漏，檢漏合格后再安裝下一個部件。

　?、墼诎惭b中，對經(jīng)過再次加工過的某些零、部件要重新檢漏。例如有些管道，在裝配時受了較大的拉應(yīng)力，或者重新彎曲過，都會造成焊縫和原材料的拉裂，必須重新檢漏。

　　④安裝后首先對密封圈、轉(zhuǎn)動密封處進行檢漏，其次再做總體靜態(tài)升壓試驗，測量其總漏率是否滿足要求。

　?、輰τ谛柽M行烘烤或加冷卻劑的部件，必須經(jīng)過冷、熱沖擊試驗后再進行檢漏。例如，冷阱、冷卻障板等部件，在烘烤除氣后，應(yīng)立即注人冷卻劑(液氮、氛里昂等)，然后測量其漏率。在這些過程中，漏孔不一定是在最冷態(tài)或最熱態(tài)出現(xiàn)，應(yīng)予以注意。

　　4、運行及維修時的檢漏

　　一臺真空設(shè)備在投人使用后，還可能出現(xiàn)漏孔。因此，真空設(shè)備在使用中要有詳細的運轉(zhuǎn)記錄，以便查找漏氣的原因。

　?、僬婵赵O(shè)備在使用中，有時需打開某些法蘭進行清洗或放置實驗件等。重裝后，若發(fā)現(xiàn)漏氣就需對密封處進行檢漏。

　　②對更換的部件要進行檢漏。

　?、劢?jīng)過運轉(zhuǎn)的真空設(shè)備，如果發(fā)現(xiàn)真空度變壞，應(yīng)考慮是否是由漏氣造成的，這可用靜態(tài)升壓試驗來判斷。