真空泵在其工作壓力下，應(yīng)及時排出真空設(shè)備過程中產(chǎn)生的所有氣體。真空泵的正確組合。因為真空泵具有選擇性泵送，有時一個泵不能滿足泵送要求，需要組合和補(bǔ)充幾個泵來滿足泵送要求。例如，鈦升華泵對于氫氣具有較高的泵送速度，但是不能泵送氦氣，而三極濺射離子泵(或雙極不對稱陰極濺射離子泵)對于氬氣具有一定的泵送速度，并且兩者的結(jié)合將導(dǎo)致真空裝置具有更好的真空度。
真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)抽真空。一些真空泵的出口壓力低于大氣壓，需要前置泵。因此，所有泵都需要組合使用。真空設(shè)備對油污染的要求。如果設(shè)備嚴(yán)格要求無油，應(yīng)選用各種非油泵，如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇油泵，并采取一些防止油污染的措施，如增加冷阱、擋板、油阱等。也能滿足清潔真空的要求。
真空泵應(yīng)安裝在堅實的地面上，周圍應(yīng)留有足夠的空間，便于檢查、維護(hù)和保養(yǎng)?；A(chǔ)應(yīng)保持在真空泵底座下方的水平位置。建議在底座的四個角上安裝緩沖橡膠或螺栓，以確保真空泵的平穩(wěn)運行和低振動。
真空泵與系統(tǒng)之間的連接管道應(yīng)密封可靠。對于小型真空泵，金屬管道連接墊圈應(yīng)由耐油橡膠制成。對于小型真空泵，應(yīng)采用真空軟管連接。管道直徑不應(yīng)小于真空泵的吸入直徑，管道應(yīng)短，彎頭少。真空泵密封環(huán)境的具體操作如下:
1、機(jī)械密封裝置;
(1)動環(huán)和靜環(huán)的表面應(yīng)光滑干凈，無劃痕，密封面的平整度應(yīng)保持在0.87um以內(nèi).
(2)水環(huán)真空泵密封裝置處的軸徑向跳動應(yīng)小于0.03毫米
(3)彈簧無裂紋、銹蝕等缺陷，彈簧兩端面與中心線的垂直度偏差應(yīng)小于5/1000，同一機(jī)械密封中彈簧之間的自由高度差不應(yīng)大于0.5 mm
(4)動環(huán)和靜環(huán)密封端面的鋼包偏差不大于0.02毫米，兩個端面的不平行度不大于0.04毫米
2.浮環(huán)密封裝置:
(1)支撐環(huán)、浮動環(huán)和浮動環(huán)安裝在軸上的部分應(yīng)光滑無損;浮動環(huán)和支撐環(huán)的密封端面應(yīng)進(jìn)行彩色涂層檢查，并要求接觸良好。
(2)浮動環(huán)同軸套管的總徑向間隙一般為0.15-0.25毫米
(3)文字軸承環(huán)和軸套的徑向間隙應(yīng)均勻。
(4)支撐彈簧應(yīng)無缺陷，同組浮環(huán)支撐彈簧的自由高度偏差不得大于0.5毫米。機(jī)械真空泵的漏油主要位于軸封、放油孔、油窗、油箱等處。主要原因是磨損時間過長，密封損壞或裝配不良，螺釘未壓緊時受力不均勻。當(dāng)在某個地方發(fā)現(xiàn)漏油時，維修工人和操作人員應(yīng)立即采取措施。他們不應(yīng)該想當(dāng)然地認(rèn)為“小問題”是無害的，就讓它去吧。否則，從長遠(yuǎn)來看，泵會泄漏或損壞。解決漏油并不難，只需先排干泵油，拆卸漏油處并更換密封即可。軸封泄漏的解決方案以前也有介紹。排油孔、鉛板、橡膠紙板、耐油真空橡膠板等泄漏?？勺鳛閴|片更換，并可處理油窗等其他密封處的漏油