2021
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干式真空泵主要在半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)得到應(yīng)用與發(fā)展。國外的干泵市場正處于蒸蒸日上的階段，如日本，半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機械泵，而歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵，大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量?！ 榱藵M足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求，國外有螺桿式真空泵、多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵、渦旋式真空泵以及渦輪式無油真空泵等。干泵極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3/h～500m3/h?！ ?、干式真空泵的介紹及原理 此為立式雙螺桿干式真空泵，它的吸氣和排氣原理和大多數(shù)是一樣的，是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備?！ 「墒秸婵毡霉ぷ鲿r，相互之間無摩擦，運轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，工作腔無需潤滑油，因此，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵。由于螺桿制成變螺距結(jié)構(gòu)，與等螺距結(jié)構(gòu)相比，極限真空更高，而消耗功率更低，具有節(jié)能，免維修等優(yōu)點。它是油封式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品?！ 淦穫浼菢藴实腛型圈。從上至下的輸送方式能可靠地處理夾帶液體的濕氣及粉塵，并且無需過濾器。最優(yōu)化的螺桿外形設(shè)計使功率消耗降到最低，簡單的設(shè)計可使泵腔在1小時內(nèi)在現(xiàn)場全部解體，易于清洗維護?！ ?、獨特的冷卻方式 很多泵轉(zhuǎn)子卡死的原因是吸入含有粉塵及結(jié)晶的物質(zhì)、高溫發(fā)生聚合的物質(zhì)、熱敏性物質(zhì)的升華造成轉(zhuǎn)子間的間...