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2020 - 07 - 27
在真空泵的日常使用中,應(yīng)該采用什么樣的真空泵維護(hù)方法? 今天小編共享真空泵的基本維護(hù)方法。 真空泵的日常維護(hù)方法大致分為日常維護(hù)和使用的維護(hù)方法。 以下是具體的維護(hù)方法,可以簡單了解內(nèi)容?! ∫?真空泵的定期維護(hù)方法  1.定期檢查油位位置,及時調(diào)整油位,使油位不符合規(guī)定要求。 開真空泵時,確認(rèn)油位在油標(biāo)的中心。  2.仔細(xì)檢查油質(zhì)情況,發(fā)現(xiàn)應(yīng)立即更換油,以便真空泵正常工作?! ?.定期檢查真空泵管路及接頭的松動。 用手轉(zhuǎn)動真空泵,檢查真空泵是否柔軟。 檢查套筒的磨損情況,磨損大時要及時更換?! ?.真空泵的換油考慮到實(shí)際使用情況和能否滿足性能要求等情況,建議新的真空泵在100小時左右換油。 在油中找不到黑色金屬粉末的情況下,可以適當(dāng)延長油交換循環(huán)?! ?.一般情況下,在真空泵事件2000小時后進(jìn)行檢查,檢查橡膠密封的劣化程度,檢查排氣閥座是否破裂,去除閥座及排氣閥座上沉淀的污垢。 汽油用于清洗和干燥真空泵室內(nèi)的轉(zhuǎn)子.旋轉(zhuǎn)葉片和彈簧。 橡膠構(gòu)件可以用干布清洗或擦拭。 清洗和組裝時,必須注意輕便搬運(yùn)。  二.真空泵的使用維護(hù)方法  1.真空泵運(yùn)行中的維護(hù)方法是,真空泵軸承溫度不得超過環(huán)境溫度35?! ?.冬季真空泵的維護(hù)方法,是使用時留心防凍液。 汽車停車后,需要拆下泵體的下排水塞來清洗介質(zhì)。 防止結(jié)冰?! ?.需要停止真空泵使用時,關(guān)閉男同性戀閥.壓力補(bǔ)正,然后停止馬達(dá),減少因突然...
2020 - 08 - 03
羅茨真空泵使用一段時間后,會出現(xiàn)一些故障。在維護(hù)過程中,我們應(yīng)該注意檢查軸承、油封、機(jī)器密封和皮帶是否損壞。如果損壞,應(yīng)及時更換,羅茨泵應(yīng)安裝正確?! ?.拆卸和清潔  第一步是拆卸三角帶、泵進(jìn)出口管道、伴熱蒸汽管道和氮?dú)夤艿?拆下地腳螺栓,并將真空泵移至維護(hù)平臺?! ∑浯危蜷_泵頂部各級蓋板,用塞尺從上蓋板插入人,測量轉(zhuǎn)子與各級隔板的前后間隙,并做好記錄?! ∽詈?,用記號筆在真空泵上部的整個平面位置做明顯的標(biāo)記,避免恢復(fù)時出錯;清楚地標(biāo)出主動轉(zhuǎn)子和被動轉(zhuǎn)子的前后方向;逐步從尾端拆卸真空泵泵體的連接螺栓,測量并記錄各級隔膜之間的紙墊厚度,直至完全拆卸。用酒精清洗真空泵的所有部件,并用紗布紙清洗污染的部件;轉(zhuǎn)子墻板和隔板的拉毛部分用銼刀修平,用拋光機(jī)拋光。  2.安裝步驟  準(zhǔn)備新的轉(zhuǎn)子,滾動軸承、油封、機(jī)械密封和調(diào)整紙墊進(jìn)行更換;更換前后軸承箱墻板上的油封以備后用?! ?1)用矩形框固定維修平臺,將主轉(zhuǎn)子前擋板放在上面,根據(jù)標(biāo)記放置主動和從動轉(zhuǎn)子,逐步安裝泵殼、擋板、級間密封圈、調(diào)節(jié)紙墊和四角圓柱定位銷。注意拆卸時調(diào)整紙墊的厚度應(yīng)與記錄一致,并擰緊泵體的緊固螺栓?! ?2)將泵體平放在維修平臺上,安裝兩端隔板處的轉(zhuǎn)子節(jié)流環(huán);安裝軸承箱內(nèi)墻板;安裝軸承座和軸承?! ?3)用測隙規(guī)檢查各級轉(zhuǎn)子和隔板的前后間隙,要求滿足真空泵維護(hù)手冊中的間隙數(shù)據(jù)。一般情況下,保證前后轉(zhuǎn)子與隔板的間隙大于...
2020 - 08 - 11
羅茨真空泵作為一種內(nèi)部結(jié)構(gòu)優(yōu)良的機(jī)械設(shè)備,需要在生產(chǎn)加工過程中做一些防銹工作。但是在后期,由于維修工作不到位,使用方法不規(guī)范,設(shè)備本身的防銹性效果會降低,導(dǎo)致羅茨真空泵生銹,但是生銹后,不僅羅茨泵的工作效率會降低,而且其部件的使用壽命也會受到影響。因此,當(dāng)在羅茨泵,發(fā)現(xiàn)鐵銹時,除銹工作必須及時進(jìn)行。目前,羅茨泵有兩種除銹方法方法:  一、人工除銹  這種措施就是非常省費(fèi)用和保險。手工除銹,我們可以借助手邊的工具來除銹。我們不需要使用其他化學(xué)物質(zhì)產(chǎn)品來除銹,所以節(jié)省了一些費(fèi)用。為什么要投保?因?yàn)樵诹_茨真空泵,的泵腔內(nèi),如果使用化學(xué)除銹劑除銹,泵腔或多或少會受到損壞?! 〉诙⒂贸P劑除銹  這種方法除銹非常干凈,但會損壞泵腔。  因此,在羅茨真空泵,發(fā)生銹蝕時,可采用人工除銹或除銹劑方法進(jìn)行處理。但是,在對羅茨泵,進(jìn)行除銹之前,我們必須根據(jù)羅茨泵,的實(shí)際銹蝕情況考慮選擇哪種除銹方法,這樣更合適的除銹方法才能使其除銹效果更好。另外,羅茨泵除銹完成后,必須做好相關(guān)的維護(hù)工作,鞏固和維護(hù)除銹效果。
2020 - 08 - 18
軸承是螺桿真空泵的重要附件,無論如何都不能損壞,但真空泵在使用過程中不可避免地會放出一些熱量,所以軸承發(fā)熱是正?,F(xiàn)象,但不能總是被加熱。如果讓它升溫,不僅會損壞軸承,還會損壞整個真空泵。軸承發(fā)熱的原因是什么?如何解決?  1.軸承損壞:軸承滾動體和軸承保持架損壞,會導(dǎo)致軸承過熱。及時更換螺桿真空泵的新軸承?! ?.軸承預(yù)緊力過大:促使軸承間隙減小或沒有間隙,導(dǎo)致軸承溫度升高。適當(dāng)放松軸承的預(yù)緊力?! ?.光滑外觀:如果光滑油脂的增加量過大或過小,或者光滑油脂的種類不合適,就會形成軸承發(fā)熱。檢查光滑油脂的類型,并詢問合適的用量?! ?.軸端密密封失效:當(dāng)軸端密密封填料損壞或密封水道堵塞時,空氣從這些損壞的間隙吸入泵體,形成螺桿真空泵的吸排氣性能。只要一側(cè)密封失效,葉輪兩側(cè)的壓力就會不平衡,轉(zhuǎn)子就會產(chǎn)生軸向力,這將加重軸承負(fù)荷,提高軸承溫度。更換或修理軸端密密封件的包裝?! ?.閥板開裂:當(dāng)一個閥板開裂時,葉輪兩側(cè)壓力不平衡,轉(zhuǎn)子產(chǎn)生軸向力,加重軸承負(fù)荷,導(dǎo)致軸承溫升。閥板應(yīng)及時更換?! ?.轟動效應(yīng):當(dāng)泵體或軸承轟動時,軸承溫度過高。檢查螺桿真空泵的泵體,找出引起感覺的原因,消除感覺?! ∫坏┹S承損壞,請更換新的,因?yàn)檩S承對螺桿真空泵的影響無疑是巨大的。除了更換和修理軸承外,建議及時檢查和修理軸承周圍的附件,以免不良附件卷入軸承。
2020 - 08 - 25
離心泵是一種連續(xù)輸送液體、增加液體壓力的機(jī)器,同時具有耐腐蝕、占地面積小、維護(hù)方便、性價比高等特點(diǎn),在市場上也有很強(qiáng)的需求。 市場大致分為單級離心泵和多級離心泵兩種。 那么,單級離心泵和多級離心泵怎么選擇?  一般而言,單級離心泵是只有一個葉輪的泵,因此稱為單級離心泵。 所謂多段離心泵,其目的在于提高壓力,所述多段離心泵是具有2個以上的葉輪的泵,即多個單段離心泵串聯(lián)連接,其中的2個葉輪是2段離心泵,3個葉輪是3段離心泵,幾個葉輪是多段,多個葉輪是多段離心泵  單級離心泵的揚(yáng)程為125米,與此相對,多級離心泵的揚(yáng)程因壓力的增加而超過125米。 即,單段離心泵的壓力小,(651~375 )大,但多段離心泵的壓力高,揚(yáng)程高,(651~375 )小?! 渭夒x心泵比多級離心泵小,占地面積小,更便宜,維護(hù)更簡單,多級離心泵比離心泵大,價格更高,因此其維護(hù)也比單級離心泵復(fù)雜?! o論是單層還是多層,選擇適合自己的都很重要,我們在選擇的時候,根據(jù)自己的需求來選擇是一種性價比高的方式。  使用離心泵時,必須定期進(jìn)行維護(hù)和維護(hù)。 使用過程中,灰塵可能會向上掉落。 液體中有殘留物,可能殘留在離心泵內(nèi)部。 這個時候,我們有必要把那個擦干凈。 這也是延長離心泵壽命的方式。
2020 - 09 - 04
螺桿式真空泵是容積式真空泵中的新興成員,出現(xiàn)于上世紀(jì)90年代前后,發(fā)展緩慢。 但作為理想的干式泵,螺桿式真空泵自上市以來發(fā)展迅速。 讓我們來了解一下螺桿式真空泵的特點(diǎn)?! ÷輻U式真空泵是脫離螺桿式壓縮機(jī)和螺桿液輸送泵的、容積式真空泵中優(yōu)選的干式真空泵。 可提供無油真空環(huán)境,對腐蝕性氣體、凝固性蒸汽、含粉塵顆粒氣體有較強(qiáng)的適應(yīng)性,對電子半導(dǎo)體、制藥、石化等潔凈真空環(huán)境要求嚴(yán)格,在氣體成分復(fù)雜行業(yè)領(lǐng)域中,螺桿式真空泵很受歡迎  螺桿式真空泵通過一對非對稱螺桿轉(zhuǎn)子的相對運(yùn)動,使齒間容積周期性變化來輸送氣體,實(shí)現(xiàn)抽氣的目的。 這些特征包括:  1.清潔無油,多相混輸,適應(yīng)性廣。 螺桿式真空泵的轉(zhuǎn)子之間有嚴(yán)格的間隙,泵室內(nèi)無油,能排放腐蝕性氣體、有毒及粉塵、凝固性蒸汽等復(fù)雜氣體?! ?、結(jié)構(gòu)簡單,動平衡好,可靠性高。 螺桿式真空泵零件少,核心零件無易耗零件和不平衡慣性力,運(yùn)行可靠,壽命長。  3.結(jié)構(gòu)簡單,零件少,操作、維護(hù)簡單。  4.強(qiáng)制進(jìn)氣可以在較大的壓力范圍內(nèi)保證較大的排氣速度,排氣量幾乎不受排氣壓力的影響。
2020 - 09 - 28
隨著螺桿真空泵的使用率越來越普遍,其質(zhì)量也越來越高,其特性的優(yōu)勢被大家普遍使用,因此為了大家能更好地應(yīng)用,一起進(jìn)行下螺桿真空泵的操作方法?! ÷輻U真空泵一般利用一對螺桿,在泵殼中同步通過高速反轉(zhuǎn)進(jìn)行吸氣和排氣作用的排氣設(shè)備,通過油封式真空泵的更新產(chǎn)品,可以吸引含有水蒸氣和少量粉塵的氣體  再生制動是指螺桿真空泵減速或停止時,制動產(chǎn)生的能量通過變頻電路反饋到直流母線。 電阻-電容器電路吸收后,再生制動器必須在伺服正常動作時發(fā)揮作用。 故障、緊急停止、電源停止時,制動電機(jī)不能自動運(yùn)行。 電磁制動器是由機(jī)械裝置鎖定的螺桿真空泵的軸,電磁制動器通常在sv或off后啟動,放大器可能會過載。 動態(tài)制動器通常在sv、斷開或主回路斷開后啟動。 否則,動態(tài)制動電阻會過熱。 在螺桿真空泵設(shè)備的日常使用中,必須定期進(jìn)行維護(hù)  以上是關(guān)于螺桿真空泵的操作方法,在使用中只有通過正確的操作方法才能順利進(jìn)行效果。 如果不清楚,請打電話咨詢。 根據(jù)實(shí)際要求推薦。 不要盲目操作,減少麻煩。
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Hot News / 熱點(diǎn)新聞
發(fā)布時間: 2025 - 07 - 09
來源: 1254
在電子行業(yè)實(shí)現(xiàn)集中抽真空,需從設(shè)備選型、系統(tǒng)設(shè)計(jì)、工藝流程優(yōu)化及維護(hù)管理四方面系統(tǒng)規(guī)劃,以下為具體方案與分析:一、核心設(shè)備選型:匹配工藝需求,兼顧效率與成本干式真空泵爪式泵:耐粉塵、高軸扭矩,適合刻蝕工藝等產(chǎn)生顆粒物的場景。螺桿泵:粗低真空段抽氣效率高,適合大工藝腔體預(yù)抽真空。羅茨泵:多級結(jié)構(gòu)可提升真空度,常與螺桿泵或爪式泵組合使用。適用場景:半導(dǎo)體制造、光伏產(chǎn)業(yè)、平板顯示等對無油污染要求高的領(lǐng)域...
發(fā)布時間: 2020 - 02 - 25
來源: 52
性價比高、技術(shù)可靠性強(qiáng)、使用壽命長是旋片真空泵多年來得到廣泛應(yīng)用的重要因素。旋片真空泵具有油潤滑和密封結(jié)構(gòu),因此影響旋片真空泵可靠性和使用壽命的最重要因素是泵內(nèi)蒸汽和化學(xué)物質(zhì)的侵蝕以及潤滑劑的老化?! ?.蒸汽提取  大多數(shù)旋片真空泵制造商將詳細(xì)解釋設(shè)備在百帕?xí)r的蒸汽容差或克/小時時的蒸汽容量。這些信息指的是水蒸氣。當(dāng)氣動閥打開且真空泵處于工作溫度時,如果入口壓力低于給定值,泵送的水蒸氣不能冷凝。在干燥過程中,泵的尺寸不是由根據(jù)蒸汽量的泵速決定的,而是由每單位時間收集的水量決定的。因此,必須用關(guān)閉的真空側(cè)閥和打開的空氣壓力閥預(yù)熱泵約15至30分鐘,以達(dá)到其最佳工作溫度(油)(約70-80℃)。只有在正確的操作溫度下,蒸汽才能通過打開的氣動閥泵出。高真空閥門的延遲開啟可以很容易地集成到控制系統(tǒng)中。  泵壓過程完成后,建議打開氣動閥,讓真空泵繼續(xù)運(yùn)行約15分鐘,這樣泵體內(nèi)剩余的蒸汽可以通過排氣裝置排出。該過程再生工作流體,以防止停滯腐蝕和可能的泵故障?! ”匾谋们昂捅煤蟛僮骺赏ㄟ^定時工具輕松集成到控制器中。如果系統(tǒng)需要低于1至2百帕極限壓力的空氣壓力,則需要兩級旋片真空泵。值得注意的是,兩級旋葉真空泵的蒸汽容限和蒸汽容量將低于單級泵。  2.工作流體  使用旋葉式真空泵時,工作流體(即真空泵油)主要負(fù)責(zé)三個重要功能:密封、潤滑閥門和軸承、傳導(dǎo)鋁殼上的壓縮和摩擦熱以冷卻泵體?! ∮脗鲃友b置和潤滑劑保持油位是所有油封旋轉(zhuǎn)葉片泵和真空泵的重要預(yù)防性維護(hù)和日常維護(hù)。如果油位下降過低,泵系統(tǒng)將無法再潤滑。由于缺乏潤滑,泵系統(tǒng)的運(yùn)行將被阻塞,最終導(dǎo)致泵故障。油位過低也會妨礙壓縮熱的最佳消散。泵過熱會導(dǎo)致工作流體快速老化。缺乏潤滑和形成油碳最終會導(dǎo)致泵故障。因此,必須確保泵的油位不能低于觀察鏡的中間位置?! ⌒枰ㄆ跈z查工作流體的顏色、粘度和污染物。如果工作液中的水分含量超過5%,就會呈現(xiàn)...
發(fā)布時間: 2020 - 02 - 25
來源: 51
旋片真空泵的噪聲通常是指當(dāng)泵的溫度穩(wěn)定時,在極限真空下測得的噪聲水平。它包括泵本身的噪音和電機(jī)的噪音。對于用戶來說,它還關(guān)注旋片真空泵溫度不穩(wěn)定時的啟動階段的噪聲、不同入口壓力下的操作噪聲以及氣體開啟鎮(zhèn)流器的操作噪聲。因此,應(yīng)該考慮許多因素?! 「鶕?jù)聲音產(chǎn)生的位置,旋片真空泵的噪音可分為以下幾個方面:  (1)轉(zhuǎn)子對缸體的沖擊,泵的剩余容積和排氣死區(qū)中的壓力油的聲音產(chǎn)生;  (2)排氣閥片對閥座和支架的沖擊;  (3)箱內(nèi)回聲和氣泡破裂;  (4)軸承噪聲;  (5)大量氣體和油沖擊擋油板產(chǎn)生的噪音;  (6)其他。如傳動噪聲、風(fēng)冷泵風(fēng)扇噪聲等?! ?7)電機(jī)噪聲,這是一個關(guān)鍵因素?! π婵毡迷O(shè)計(jì)和處理方案的建議如下:  1.旋轉(zhuǎn)板對氣缸壁的影響  如果使用不當(dāng)?shù)脑O(shè)計(jì)、制造或材料導(dǎo)致轉(zhuǎn)子板滑動不順暢,或者因?yàn)榇嬖谒罋庀?,不可壓縮的油導(dǎo)致轉(zhuǎn)子板頭部不總是靠近氣缸壁,這將導(dǎo)致轉(zhuǎn)子板撞擊氣缸壁。因此,采用圓弧面分隔進(jìn)出口的結(jié)構(gòu)是合適的。用排氣導(dǎo)槽消除死區(qū)。采用線分離結(jié)構(gòu)時,排氣終點(diǎn)到切點(diǎn)的距離應(yīng)盡可能縮短。對于70l/s以下的旋葉泵,考慮到旋葉的實(shí)際厚度,建議取7 ~ Lomm,大泵取大值。當(dāng)其過近時,由于轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)子槽的存在和只有一條窄條與轉(zhuǎn)子頭接觸,一旦轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)到切點(diǎn),密封效果不好,這將影響泵送速度甚至泵的極限壓力。可以看出,這種結(jié)構(gòu)不能完全消除排氣死區(qū),限制了降噪水平。  應(yīng)該指出,轉(zhuǎn)子和槽之間的間隙過大會降低性能。因此,必須保證合理的公差配合和形位公差值,注意轉(zhuǎn)子板的熱膨脹,避免轉(zhuǎn)子板與槽之間的擦傷,注意油的冷油粘度,設(shè)計(jì)足夠的轉(zhuǎn)子板彈簧力。采用圓弧面分離時,轉(zhuǎn)子中心的附加偏心值不宜過大。否則,當(dāng)轉(zhuǎn)子穿過兩個圓弧時,它將傾向于在交點(diǎn)處脫離氣缸壁,從而產(chǎn)生沖擊噪聲。一般來說,小泵只有0.20 ~ 0.25毫米,而大泵可以適當(dāng)增加?! ∨艢馑绤^(qū)中的壓力油和剩余容積中的壓力油...
發(fā)布時間: 2020 - 02 - 25
來源: 47
疫情還沒完全結(jié)束,  復(fù)工安全管理你知道怎么做嗎?  關(guān)注人的問題  一是員工安全問題。員工復(fù)工,疫情防控壓力也隨之增大。企業(yè)應(yīng)給員工提供復(fù)工指南,辦公室防疫手冊,要提醒員工做好4個防疫準(zhǔn)則,戴口罩、勤洗手、勤通風(fēng)、同事之間保持距離?! 《菎徫蝗眴T問題。受疫情影響,假期延長,停工企業(yè)外地員工返回后不能立即到崗,導(dǎo)致一線生產(chǎn)職工人力不足。建議企業(yè)組織人資、生產(chǎn)、設(shè)備、安全部門對崗位人力滿足情況和人員安全生產(chǎn)能力進(jìn)行一次評估,按照關(guān)鍵崗位員工到崗情況,確定復(fù)工時間?! ∪侨藛T心理問題。許多員工復(fù)工返崗后自由散漫的心還沒有收回來,心思并沒有真正回到工作崗位上,容易發(fā)生“三違”行為。建議企業(yè)在復(fù)工復(fù)產(chǎn)期間,安全管理人員要經(jīng)常深入生產(chǎn)現(xiàn)場提醒與監(jiān)督,同時嚴(yán)格落實(shí)領(lǐng)導(dǎo)干部帶班制度,抓好反“三違”管理。  關(guān)注員工的復(fù)產(chǎn)問題,  還有我們的生產(chǎn)“復(fù)工設(shè)備”  一起來了解吧~  關(guān)注設(shè)備,實(shí)施管理  對裝置開泵前的設(shè)備調(diào)試和吹掃、置換、氣密試驗(yàn)等重要作業(yè),以及裝置開停泵流程、設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)、公用工程啟動等重要步驟,實(shí)施責(zé)任人簽字確認(rèn)制度,進(jìn)行安全條件審核確認(rèn)?! 〖訌?qiáng)設(shè)備設(shè)施的管理?! ∫皇菣z查設(shè)備的檢驗(yàn)周期是否符合要求,  二是對管道、彎頭減薄等設(shè)備腐蝕要進(jìn)行一次風(fēng)險識別判斷;  三是動靜設(shè)備存在的隱患是否得到消除;  四是報(bào)警聯(lián)鎖等是否完備在用、好用、管用?! 】赐瓯玫膶?shí)施管理  還有泵的正確“操作方式”  一起記住它吧~  關(guān)注機(jī)械泵的維護(hù)  ①真空泵設(shè)備的啟動,停用多日的真空泵啟動時,請不要直接啟動,應(yīng)該先轉(zhuǎn)動電機(jī)風(fēng)葉至少三圈后再啟動。如果連續(xù)啟動三次后還停止機(jī)器,并用手盤動主機(jī) ,再次啟動機(jī)器!這樣操作,可有效避免開機(jī)時供油不及時機(jī)頭卡死的現(xiàn)象。 ?、谡婵毡迷O(shè)備的停車,真空泵設(shè)備在進(jìn)行停車的時候,要注意(如進(jìn)氣管有閥門)關(guān)閉進(jìn)氣管上的閥門,之后也就應(yīng)該要關(guān)閉供水管,且要注意疾速關(guān)停...
發(fā)布時間: 2020 - 02 - 24
來源: 94
羅茨真空泵是一種機(jī)械真空泵,具有一對同步高速旋轉(zhuǎn)的鞋底形轉(zhuǎn)子。該泵不能單獨(dú)泵送空氣。前級需要配備油封、水環(huán)等。直接排放空氣。其結(jié)構(gòu)和工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似。其吸入口與真空容器或真空系統(tǒng)的主泵相連。真空泵的轉(zhuǎn)子和轉(zhuǎn)子之間以及轉(zhuǎn)子和泵殼之間沒有接觸。  間隙一般為0.1 ~ 0.8毫米;不需要用油潤滑。轉(zhuǎn)子輪廓包括圓弧、漸開線和擺線。漸開線轉(zhuǎn)子泵體積利用率高,加工精度容易,因此轉(zhuǎn)子型線多為漸開線。羅茨真空泵的轉(zhuǎn)速可達(dá)3450~4100轉(zhuǎn)/分。抽氣速率為30-10000升/秒(1升=10-3米);  羅茨真空泵是一種機(jī)械真空泵,具有一對同步高速旋轉(zhuǎn)的鞋底形轉(zhuǎn)子。該泵不能單獨(dú)泵送空氣。前級需要配備油封、水環(huán)等。直接排放空氣。其結(jié)構(gòu)和工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似。其吸入口與真空容器或真空系統(tǒng)的主泵相連。真空泵的轉(zhuǎn)子和轉(zhuǎn)子之間以及轉(zhuǎn)子和泵殼之間沒有接觸。  間隙一般為0.1 ~ 0.8毫米;不需要用油潤滑。轉(zhuǎn)子輪廓包括圓弧、漸開線和擺線。漸開線轉(zhuǎn)子泵體積利用率高,加工精度容易,因此轉(zhuǎn)子型線多為漸開線。羅茨真空泵的轉(zhuǎn)速可達(dá)3450~4100轉(zhuǎn)/分。抽氣速率為30-10000升/秒(1升=10-3米);單級的極限真空為6.5×10-2帕,雙級為1×10-3帕。  羅茨泵的極限真空不僅取決于泵本身的結(jié)構(gòu)和制造精度,還取決于前級泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度,羅茨泵可以串聯(lián)使用。羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似。由于轉(zhuǎn)子的連續(xù)旋轉(zhuǎn),泵送的氣體從空氣入口被吸入轉(zhuǎn)子和泵殼之間的空間v0,然后通過空氣出口排出。由于v0空間在吸入后完全關(guān)閉,泵室內(nèi)的氣體不會被壓縮和膨脹。然而,當(dāng)轉(zhuǎn)子的頂部圍繞排氣口的邊緣轉(zhuǎn)動并且v0空間與排氣側(cè)連通時,由于排氣側(cè)的高氣體壓力,一些氣體沖回到空間v0中,導(dǎo)致氣體壓力突然增加。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時,氣體離開泵。羅茨泵在泵室中,有兩個“8”形轉(zhuǎn)子安裝在一...
發(fā)布時間: 2020 - 02 - 24
來源: 85
半導(dǎo)體工藝真空主要用于鍵合工藝,如蒸發(fā)、濺射、等離子體化學(xué)氣相沉積、真空干法刻蝕、真空吸附、測試設(shè)備、真空清洗等。半導(dǎo)體生產(chǎn)制造過程中容易產(chǎn)生易燃、易爆、有毒物質(zhì)和氣體,對生產(chǎn)和人員安全構(gòu)成威脅。因此,半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用中的幾個安全注意事項(xiàng)如下:  1.定期清潔真空泵和其他附件、過濾器和管道,以避免過壓?! ≡诎雽?dǎo)體真空泵的應(yīng)用中,當(dāng)介質(zhì)在介質(zhì)提取過程中通過反應(yīng)室和真空泵時,介質(zhì)的組成可能極其復(fù)雜。例如,四氯化硅和氧氣在泵口形成二氧化硅,而四氯化鈦水解形成鹽酸。假設(shè)是油封機(jī)械泵,這些氣體物質(zhì)也可能與泵油發(fā)生反應(yīng)。這些變化假定形成顆粒、可冷凝物或腐蝕性介質(zhì),它們可能阻塞真空泵或管道系統(tǒng),影響真空泵的性能,導(dǎo)致壓力上升或過壓,并造成更大的風(fēng)險。因此,有必要及時清理,必要時設(shè)置過濾設(shè)備?! ?.有效稀釋有害氣體的濃度  半導(dǎo)體容易產(chǎn)生上述易燃、易爆和有毒的有害氣體。因此,在半導(dǎo)體真空泵的應(yīng)用中,當(dāng)提取這些介質(zhì)時,有必要防止在真空泵或排氣過程中發(fā)生一些不可控的反應(yīng)。例如,當(dāng)與空氣或氧氣接觸時,SiH4、PH3、AsH3、B2H6和其他物質(zhì)會引起燃燒甚至爆炸。當(dāng)空氣中氫的混合比例達(dá)到一定程度和溫度時,也會發(fā)生燃燒。這些都取決于物質(zhì)的數(shù)量及其與環(huán)境壓力和溫度的關(guān)系。因此,當(dāng)半導(dǎo)體真空泵抽取這些介質(zhì)時,在壓縮之前,需要惰性氣體如氮?dú)鈱⑦@些氣體稀釋到當(dāng)前條件下的安全范圍?! ?.注意氧氣的濃度  如果空氣中的氧氣濃度過高,也會發(fā)生燃燒和爆炸的危險。因此,在某些情況下,應(yīng)注意氧氣的濃度,并應(yīng)使用惰性氣體稀釋氧氣,以防止?jié)舛冗^高。假設(shè)油封機(jī)械泵可能需要使用一些惰性氧兼容的真空泵油,并及時更換濾油器和油品?! ?.防止溫度過高  理解這一點(diǎn)更容易。在半導(dǎo)體在真空泵中的應(yīng)用中,有許多有害氣體。但是,無論是干式真空泵還是油封機(jī)械泵,如果泵腔內(nèi)溫度過高,易燃、易爆和有毒氣體在高溫下很容易產(chǎn)生危險。  當(dāng)...
發(fā)布時間: 2020 - 02 - 24
來源: 111
當(dāng)確定真空系統(tǒng)的配置時,設(shè)備能夠達(dá)到的極限壓力取決于從系統(tǒng)外部到系統(tǒng)內(nèi)部的總泄漏率Qo和由虛擬泄漏形成的總“泄漏”率∑Q1以及泵送系統(tǒng)的有效泵送速度的總和?! ≌婵占夹g(shù)中的泄漏孔指的是小孔、缺陷或間隙,以及可滲透元件或氣體泄漏裝置,當(dāng)密閉容器內(nèi)外的氣體壓力或濃度不同時,這些元件或氣體泄漏裝置允許氣體從容器壁的一側(cè)泄漏到另一側(cè)。由于泄漏孔尺寸小、形狀復(fù)雜,不能用幾何尺寸來表示,因此其尺寸一般用等效電導(dǎo)或泄漏率(稱為“泄漏率”)來表示,單位為pa·l/s。  焊縫是真空制造過程中最容易出現(xiàn)漏孔的區(qū)域之一。  常見的焊縫外觀缺陷和其他缺陷,如未熔合、未焊透、夾渣、氣孔、裂紋和內(nèi)應(yīng)力等,是超高真空系統(tǒng)中漏孔或虛漏源的隱患。為了最大限度地減少焊接缺陷并便于檢查,超高真空要求焊接零件盡可能將焊縫放置在真空側(cè),大氣側(cè)焊縫僅用作斷續(xù)強(qiáng)化焊縫,而最大數(shù)量的焊縫可在制造階段單獨(dú)測試,并在最終組裝前進(jìn)行校正。由于一些零件的橫截面尺寸較小,內(nèi)壁的焊接受到限制,一些零件只能使用大氣側(cè)焊縫。焊縫應(yīng)一次焊接,以避免兩次焊接造成的有害空間。因此,有必要保證單面焊和雙面成形的良好效果?! 〈送?,應(yīng)該指出的是,由于壓力差、振動、熱循環(huán)和其他原因在接頭中產(chǎn)生的應(yīng)力和應(yīng)變可能導(dǎo)致包含缺陷的焊縫中出現(xiàn)裂紋,從而對焊縫造成損壞,或者焊縫在使用過程中可能被腐蝕,這可能形成泄漏點(diǎn)?! ∫虼耍捎玫暮附臃椒ū仨毮軌蚴购缚p的泄漏率滿足這些條件下的技術(shù)要求?! ∧壳埃讳P鋼廣泛用于超高真空容器。應(yīng)該說不銹鋼的可焊性和可焊性都很好。為什么要提出超高真空容器對焊縫的要求?原因是超高真空容器要求很低的泄漏率,這也對焊縫的密封性能提出了嚴(yán)格的要求。微小泄漏難以檢測、修復(fù)和消除。實(shí)踐證明,非超高真空容器常用的壓力檢漏方法不能滿足超高真空容器的漏率要求,即在壓力檢測找不到漏點(diǎn)的情況下,氦質(zhì)譜檢漏仍可能發(fā)現(xiàn)漏孔,不能滿足漏率要求...
發(fā)布時間: 2020 - 02 - 24
來源: 50
旋片真空泵運(yùn)行中的注意事項(xiàng)  旋片式真空泵的轉(zhuǎn)子以一定的偏心距離安裝在泵殼內(nèi),并靠近泵殼內(nèi)表面的固定表面。兩個(或更多)旋片安裝在轉(zhuǎn)子槽中。當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時,旋片可沿其徑向槽來回滑動,并始終與泵殼內(nèi)壁接觸。旋片與轉(zhuǎn)子一起旋轉(zhuǎn),將真空泵室分成幾個可變?nèi)莘e。操作旋片真空泵時注意以下事項(xiàng):  1、檢查油位,停止油泵油至油標(biāo)中心為宜。過低不能將油密封到排氣閥上,影響真空度。如果過高,在大氣中啟動時會導(dǎo)致燃油噴射。在運(yùn)行過程中,油位有所上升,這是正常現(xiàn)象。油應(yīng)為指定品牌的清潔真空泵油,從注油孔加入。加注后,應(yīng)擰緊螺塞。應(yīng)過濾油,以避免異物進(jìn)入堵塞油孔?! ?.泵可以在大氣壓或任何真空度下一次啟動。如果電磁閥安裝在泵端口,則應(yīng)與泵同時運(yùn)行。  3.當(dāng)環(huán)境溫度過高時,油溫將升高,粘度將降低,飽和蒸汽壓將升高,這將導(dǎo)致極限真空降低,尤其是熱電偶測得的全壓力。如果加強(qiáng)通風(fēng)和散熱或提高泵油性能,極限真空可以得到改善?! ?.應(yīng)根據(jù)壓縮水銀真空計(jì)檢查真空泵的極限真空。如果壓力表經(jīng)過充分的預(yù)測試,泵的溫度達(dá)到穩(wěn)定的水平,泵的端口直接連接到壓力表,并且在運(yùn)行的30分鐘內(nèi)將達(dá)到極限真空。總壓力表測量的值與泵油、真空計(jì)和調(diào)節(jié)誤差有關(guān)。有時誤差甚至可能非常大,只能用于參考?! ?.如果相對濕度較高,或者泵送氣體中含有較多的可冷凝蒸汽,在連接泵送容器后,宜在移動20~40分鐘后打開空氣壓力閥,關(guān)閉空氣壓力閥。停泵前,可打開氣動閥空載運(yùn)行30分鐘,以延長泵油的使用壽命?! ⌒婵毡玫墓收咸幚怼 ∪绻婵毡眠\(yùn)行不正常,往往會出現(xiàn)故障,如旋片真空泵真空度下降、噴油、冒煙、油封漏油、噪音等。以及真空泵油在泵內(nèi)乳化的現(xiàn)象等。在這種情況下,首先不要驚慌,關(guān)機(jī)后再逐一消除。以下是一些故障排除方法?! ∫?、旋片式真空泵的煙霧和噴油:指運(yùn)行中從旋片式真空泵排氣口噴出的煙霧或噴油。  故障1,抽煙。如果泵剛開始運(yùn)轉(zhuǎn)時有煙,這...
發(fā)布時間: 2020 - 02 - 24
來源: 62
旋片真空泵長時間使用后,會出現(xiàn)真空下降、密封處漏油、真空泵旋轉(zhuǎn)停滯甚至“卡死”、嚴(yán)重油污、真空泵室生銹、旋葉撞擊聲大、硬物落入真空泵室劃傷真空泵室、真空泵過熱等異?,F(xiàn)象。  此時,必須拆卸和清洗真空泵。該方法包括以下步驟:  (1)切斷電源,從真空系統(tǒng)中取出真空泵,  (2)用重力法或加壓法排放和收集污油,避免污染環(huán)境;  (3)取下皮帶和皮帶輪鍵(雙級旋葉真空泵包括皮帶);  (4)先拆下低真空端,拆下后端蓋,然后拆下低真空轉(zhuǎn)子、旋轉(zhuǎn)板、彈簧等。  (5)取下前端蓋,取出高真空轉(zhuǎn)子、旋轉(zhuǎn)板、彈簧等。  (6)取下觀察鏡、排氣閥、排氣蓋等?! ?7)用汽油徹底清潔去除的金屬部件,并用酒精脫水。橡膠部件可以用15%的氟化氫溶液煮沸以去除油。對于有毛刺或鐵銹的零件,可以使用油石或金相砂紙輕輕打磨,以去除銹斑和毛刺。清潔后的零件必須干燥?! ?8)組裝時,先安裝后級,托起彈簧和旋轉(zhuǎn)板,安裝到轉(zhuǎn)子上,然后將前端蓋安裝到真空泵室內(nèi),安裝定位銷,均勻?qū)ΨQ地?cái)Q緊螺釘。組裝后,旋轉(zhuǎn)應(yīng)靈活且均勻。安裝前轉(zhuǎn)子和后端蓋后,安裝排氣閥(排氣閥片應(yīng)與閥座緊密連接)和其他部件,如氣體鎮(zhèn)流裝置等?! ≌婵毡镁S護(hù)注意事項(xiàng),總結(jié)真空泵維護(hù)知識:  (1)定期檢查油位是否低,以及干油標(biāo)記線。如果有低干油標(biāo)記,應(yīng)及時加油。杏會影響真空泵的真空度。油量不能太多,否則會造成起動困難和噴油困難等問題?! ?2)應(yīng)注意真空泵的正常運(yùn)行、有無任何特殊噪音、機(jī)器的過載運(yùn)行以及電機(jī)真空泵的溫度過高。  (3)水冷真空泵應(yīng)防止冷卻水中斷,真空泵溫度不得超過70度。如果環(huán)境溫度低且干燥5度,真空泵中的冷卻水應(yīng)在停機(jī)后排出,以防止真空泵凍結(jié)和破裂。  (4)真空泵應(yīng)通過皮帶保持清潔。真空泵上不得放置其他物體。  (5)注意皮帶松緊是否合適。如有必要,調(diào)整或更換。  (6)真空泵油應(yīng)每年定期更換1~3次。用于真空熔煉的機(jī)械真空泵每月...
發(fā)布時間: 2020 - 02 - 23
來源: 63
我們也學(xué)到了很多關(guān)于耐腐蝕水環(huán)真空泵的知識。今天小編我們將介紹耐腐蝕水環(huán)真空泵的滾動軸承和聯(lián)軸器的組裝。感興趣的伙伴將一起了解它?! ∫?、滾動軸承裝配方法  耐腐蝕水環(huán)真空泵的滾動軸承的裝配取決于滾動軸承和軸頸或軸承孔之間的干涉。當(dāng)剩余量相對較少時,采用壓入法進(jìn)行組裝。當(dāng)剩余量較大時,可采用熱裝法進(jìn)行裝配。  當(dāng)使用壓入法進(jìn)行裝配時,銅棒和手錘可以按一定的順序?qū)ΨQ敲擊過度填充的內(nèi)圈。此外,由軟金屬制成的套筒也可以用手錘驅(qū)動或用壓力機(jī)壓制?! ‘?dāng)通過熱裝配方法裝配時,首先在發(fā)動機(jī)油中加熱軸承。油溫應(yīng)該低于100℃。從油中取出后,應(yīng)立即將其套在軸頸上。熱充電的優(yōu)點(diǎn)是不會破壞匹配特性?! 《?聯(lián)軸器的組裝  耐腐蝕水環(huán)真空泵的聯(lián)軸器是將主動軸和從動軸連接在一起的裝置。它分為電機(jī)聯(lián)軸器和泵聯(lián)軸器。安裝時,聯(lián)軸器的兩半必須同心,兩端面之間必須保持一定的等軸向間隙,否則會嚴(yán)重影響機(jī)器的運(yùn)行和使用壽命。因此,聯(lián)軸器的發(fā)現(xiàn)是裝配工作的重要組成部分。  1.聯(lián)軸器不對中要求  泵軸和電機(jī)軸的軸線應(yīng)在同一直線上。如果有一定的傾斜(即一定的錯位),機(jī)器將無法平穩(wěn)運(yùn)行,產(chǎn)生振動和噪音,導(dǎo)致軸承磨損并影響機(jī)器的使用壽命。因此,當(dāng)安裝聯(lián)軸器的兩半時,應(yīng)該有未對準(zhǔn)的要求?! ∮捎趦蓚€半聯(lián)軸器的外圓尺寸相等,因此可以通過外圓檢查未對準(zhǔn)情況。檢查方法是在兩半聯(lián)軸器的外圓上放置一把直尺,觀察直尺是否與兩個聯(lián)軸器的外圓緊密貼合。如果尺子緊緊固定在一個聯(lián)軸器上,但與另一個聯(lián)軸器有間隙,則兩個聯(lián)軸器不同心,需要調(diào)整。這樣,檢查上、下、左、右四個位置,直到它們都很緊,沒有間隙。聯(lián)軸器的錯位不應(yīng)超過0.05毫米  2.聯(lián)軸器的軸向間隙要求  為了避免兩個聯(lián)軸器在運(yùn)行過程中發(fā)生碰撞,兩個聯(lián)軸器之間應(yīng)保持均勻的軸向間隙。間隙尺寸可以用測隙規(guī)檢查,測隙規(guī)一般為4~6 mm?! o論如何,都有自己的方法,正如我們在學(xué)習(xí)時有自己...
發(fā)布時間: 2020 - 02 - 23
來源: 56
在選擇型號之前,我們必須弄清楚真空泵的一些基本概念。真空度:真空下氣體的稀薄程度,通常用真空度來表示。從真空計(jì)上讀取的值稱為真空度。真空值是指系統(tǒng)壓力的實(shí)際值低于大氣壓力的值。表上顯示的值也稱為表壓,行業(yè)也稱為極限相對壓力,即真空=大氣壓-絕對壓力(大氣壓一般為101325帕,水環(huán)真空泵的極限絕對壓力為3300帕;旋轉(zhuǎn)葉片式真空泵的極限絕對壓力約為10Pa)極限相對壓力:相對壓力是測量的內(nèi)部壓力比“大氣壓力”低多少。表示系統(tǒng)壓力的實(shí)際值低于大氣壓力。因?yàn)槿萜鲀?nèi)的空氣是泵送的,所以容器內(nèi)的壓力總是低于容器外的壓力。因此,當(dāng)用相對壓力或表壓表示時,該值前面必須有一個負(fù)號,表示容器內(nèi)部的壓力低于外部的壓力。極限絕對壓力:絕對壓力是指測量的內(nèi)部壓力比“理論真空(理論真空壓力值為0Pa)”高多少。它比較的對象是理論狀態(tài)下的絕對真空壓力。  由于工藝限制,我們在任何情況下都不能將內(nèi)部壓力提升至絕對真空值0Pa。因此,由真空泵抽吸的真空值高于理論真空值。因此,當(dāng)用絕對真空表示時,其前面沒有負(fù)號。泵送能力:泵送能力是真空泵泵送速度的衡量因素。一般單位用L/S和m /h h表示。這是一個彌補(bǔ)漏氣率的參數(shù)。不難理解為什么泵送量大的真空泵可以很容易地泵出我們需要的真空度,而泵送量小的真空泵卻很慢,甚至不能泵出我們想要的真空度。由于管道或容器不可能絕對密閉,而吸入的大量空氣可以彌補(bǔ)因空氣泄漏而造成的真空度下降的因素,因此很容易得出理想的大氣體積真空度值。建議在計(jì)算理論泵送能力時,盡量選擇泵送能力較高的真空泵。泵送能力的具體計(jì)算公式將在下面描述?! ≡诹私庹婵毡玫幕緟?shù)、絕對壓力和相對壓力后,我們可以進(jìn)入正式選擇真空泵。  1.過程所需的真空度  真空泵的工作壓力應(yīng)滿足工藝工作壓力的要求,選擇時的真空度應(yīng)比真空設(shè)備的真空度高一半至一個數(shù)量級。(例如,真空過程要求真空度為100帕(絕對壓力),真空泵...
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