四、高真空微調(diào)閥參數(shù)
驅(qū)動(dòng)方式: 手動(dòng)?
法蘭形式: KF CF?
閥體材料: 不銹鋼?
適用真空: 高真空?
調(diào)節(jié)范圍:1×10-5Pa~1.2×105Pa
最小可調(diào)流量:4.7×10-3Pa·L/s
打開(kāi)時(shí)閥針上的壓差:≤1.2×105a任意方向
閥體和閥座漏率:<1.3×10-7Pa·L·s-1
首次保養(yǎng)循環(huán)次數(shù):3,000次
閥體烘烤溫度:≤150℃
安裝位置:任意
閥門位置指示:帶有刻度盤(pán)指示