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2021
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04
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半導(dǎo)體工藝真空主要用在真空干法刻蝕，真空吸附，測(cè)試設(shè)備，真空清掃，蒸發(fā)，濺射，PECVD等鍵合工序，半導(dǎo)體生產(chǎn)制造過(guò)程中容易產(chǎn)生易燃易爆以及有毒的物質(zhì)氣體，會(huì)對(duì)生產(chǎn)及人員安全造成威脅。根據(jù)半導(dǎo)體真空工藝的應(yīng)用，深圳真空泵廠家恒才機(jī)電設(shè)備公司講講半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用時(shí)需要注意的幾個(gè)安全事項(xiàng)，歡迎查閱。半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用的4大注意事項(xiàng)：第一、有效稀釋有害氣體的濃度：半導(dǎo)體易產(chǎn)生前面所說(shuō)的易燃易爆、有毒的有害氣體。所以半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用中在抽取這些介質(zhì)時(shí)就必須防止它們?cè)谡婵毡脙?nèi)或者排氣過(guò)程中發(fā)生一些不可控的反應(yīng)。比如AsH3、B2H6、SiH4、PH3等物質(zhì)，在與空氣或氧接觸的時(shí)候，會(huì)引起燃燒甚至爆炸；氫氣在空氣中的混合比例達(dá)到一定程度與溫度時(shí)也會(huì)發(fā)生燃燒。這些都取決于該物質(zhì)的量以及與環(huán)境的壓力、溫度的關(guān)系。因此半導(dǎo)體真空泵在抽取這些介質(zhì)時(shí)，需要用氦氣之類的惰性氣體，在壓縮前即將這些氣體稀釋到當(dāng)時(shí)條件下的安全范圍。第二、定期清洗真空泵及其他附件、管道，過(guò)濾、避免超壓：半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用時(shí)，抽取介質(zhì)過(guò)程中經(jīng)過(guò)反應(yīng)室與真空泵，其成分可能極為復(fù)雜，如SiH4與O2在泵口形成SiO2，TiCl4水解會(huì)形成HCI；假設(shè)是油封式機(jī)械泵，這些氣體物質(zhì)還可能與泵油發(fā)生化反。這些變化假設(shè)形成顆粒、可凝物或者腐蝕性介質(zhì)，就可能堵塞真空泵或管路系統(tǒng)，影響真空泵性能，造成壓力上升或超壓，一點(diǎn)中提到的危險(xiǎn)性也更大。因此需要...
2021
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05
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為了節(jié)省成本，旋片式真空泵的某些用戶使用常規(guī)油代替真空泵的專用油。實(shí)際上，這不僅在一定程度上增加了使用和維護(hù)真空泵的成本，而且嚴(yán)重影響了真空泵的使用壽命。在旋轉(zhuǎn)葉片真空泵中，來(lái)自真空泵的油不僅用作獲得真空的介質(zhì)，而且還起到潤(rùn)滑，冷卻和密封機(jī)械摩擦點(diǎn)的作用。作為旋片式真空泵不可缺少的物質(zhì)，真空泵油的存在為真空泵帶來(lái)很多好處。 然后有人會(huì)問(wèn)液壓油可以替代真空泵油嗎?答案是否定的。每種類型的油都有其特性。由于液壓油必須始終承受一定的壓力，因此它將產(chǎn)生更多的熱量，因此它必須能夠承受高溫。真空油在真空泵中起潤(rùn)滑和密封的作用。因此，真空泵油必須具有良好的潤(rùn)滑效果。在真空泵的工作過(guò)程中，泵還會(huì)通過(guò)壓縮空氣來(lái)產(chǎn)生熱量。因此，真空泵油必須承受一定的溫度，同時(shí)，泵油必須與真空環(huán)境接觸，因此要求泵油不得揮發(fā)?！ 〈送?，還有用汽油絕對(duì)不可以汽油容易弄臟和著火，它是汽車和摩托車的動(dòng)力燃料，沒(méi)有潤(rùn)滑功能。可以用輕機(jī)油或20號(hào)變壓器油代替真空泵的內(nèi)部，即絕緣，潤(rùn)滑和散熱。 使用真空泵油的注意事項(xiàng)： 1.為確保真空系統(tǒng)的正常運(yùn)行，在使用，儲(chǔ)存和運(yùn)輸過(guò)程中，防止機(jī)械雜質(zhì)和水等污染物進(jìn)入，以免影響真空油的使用壽命和系統(tǒng)的正常運(yùn)行?！ ?.廢油中通常含有大量污染物和老化產(chǎn)物，會(huì)嚴(yán)重影響新油的質(zhì)量和壽命，因此，在更換機(jī)油時(shí)，必須清潔油箱和油路。從泵的吸入口倒出新油，然后用手緩慢旋轉(zhuǎn)泵軸以清潔泵腔并排干所有殘留的油，...
2021
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06
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往復(fù)式真空泵、旋片式真空泵、滑閥真空泵和羅茨真空泵使用往復(fù)式或旋轉(zhuǎn)活塞吸入、壓縮和排出氣體。它的優(yōu)點(diǎn)是剛投入使用的泵真空度比較高，但活塞是運(yùn)動(dòng)部件，所以活塞磨損是不可避免的。隨著檢查次數(shù)的增加，工作間隙會(huì)不斷縮小，直至無(wú)法滿足生產(chǎn)要求。這類泵運(yùn)行噪音大、油耗高、故障率高，也是致命的不足。一般需要開(kāi)一個(gè)更換，無(wú)形中增加了設(shè)備的投資和運(yùn)行成本。此外，如果這種類型的泵用于泵送水蒸氣等可冷凝氣體，它會(huì)使?jié)櫥腿榛?。因此，它只能用于泵送不可凝氣體(空氣)，不能用于泵送顆粒。用顆粒也限制了它的應(yīng)用范圍?！ ∷h(huán)真空泵是以安裝在泵殼內(nèi)的帶有多個(gè)葉片的偏心轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，將水拋入泵殼內(nèi)形成與泵殼同心的水環(huán)。水環(huán)和轉(zhuǎn)子葉片形成體積的周期性變化以吸入氣體、壓縮和排出。它的優(yōu)點(diǎn)是可以直接在低真空下泵送蒸汽等可凝性氣體。其缺點(diǎn)是真空度低;不能吸出顆粒狀介質(zhì);轉(zhuǎn)子在高速旋轉(zhuǎn)時(shí)不易進(jìn)行防腐處理，因此不能吸入腐蝕性介質(zhì)。
2021
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06
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很多用戶發(fā)現(xiàn)，長(zhǎng)時(shí)間使用干式真空泵后，設(shè)備溫度經(jīng)常升高，導(dǎo)致設(shè)備效率下降。這一直是用戶的一大難題。所以一定要及時(shí)找出問(wèn)題的原因，及時(shí)制定對(duì)策。 一、干式真空泵溫度高的原因 (1)風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)速低，風(fēng)壓大，風(fēng)量小。電機(jī)功率大，工作電流大，發(fā)熱量大。 (2)風(fēng)葉數(shù)少，產(chǎn)生的風(fēng)量小。 (3)真空泵電機(jī)所在母線兩端的電壓為380伏。由于電纜壓降和負(fù)載分布不均，電機(jī)實(shí)際施加的電壓只有365伏。低電壓導(dǎo)致大電流操作?！ ?4) 灰塵和油脂粘附在電機(jī)上，降低散熱能力。 二、高溫干式真空泵解決方案 電機(jī)的功率和轉(zhuǎn)速與真空泵相對(duì)應(yīng)，不可更改。風(fēng)扇安裝在電機(jī)主軸上。電機(jī)轉(zhuǎn)速?zèng)Q定風(fēng)扇轉(zhuǎn)速，不可更換。雖然增加風(fēng)扇葉片的數(shù)量可以起到一定的作用，但是當(dāng)您增加葉片數(shù)量時(shí)，很難找到動(dòng)態(tài)平衡。如果對(duì)準(zhǔn)不好，電機(jī)的振動(dòng)會(huì)增加。 原風(fēng)扇護(hù)罩加長(zhǎng)40厘米，在風(fēng)扇護(hù)罩上增加了一個(gè)與風(fēng)扇護(hù)罩直徑相同的軸流風(fēng)扇。軸流風(fēng)機(jī)電機(jī)功率850瓦，轉(zhuǎn)速1489轉(zhuǎn)，電壓380伏。原來(lái)的風(fēng)扇還在。為軸流風(fēng)機(jī)罩提供額外動(dòng)力，軸流風(fēng)機(jī)與主電機(jī)不互鎖。真空泵啟動(dòng)后及時(shí)開(kāi)啟軸流風(fēng)機(jī)，真空泵關(guān)閉30分鐘后關(guān)閉軸流風(fēng)機(jī)，使主電機(jī)充分冷卻;定期清除電機(jī)灰塵，保持電機(jī)散熱片清潔，增加散熱能力;電壓設(shè)置為400 伏?！ ∫陨暇褪歉墒秸婵毡脧S家解決干式真空泵高溫問(wèn)題的主要原因和解決方法，根據(jù)問(wèn)題產(chǎn)生的原因進(jìn)行解決，以便采取相應(yīng)的對(duì)策。
2021
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07
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隨著技術(shù)發(fā)展,在很多應(yīng)用領(lǐng)域已經(jīng)用干式真空泵所替代原有的真空泵。但在普通的工業(yè)領(lǐng)域中，如食品加工、電器制造、化工醫(yī)藥等行業(yè)，由于油封真空泵成本低、使用方便、維護(hù)費(fèi)用低，仍是最合適的產(chǎn)品。然而當(dāng)油封真空泵抽除水蒸汽時(shí)，往往會(huì)產(chǎn)生一些問(wèn)題。如真空泵潤(rùn)滑油發(fā)生乳化、變質(zhì)，達(dá)不到所需的工作壓力。甚至發(fā)生真空泵泵體、轉(zhuǎn)子嚴(yán)重銹蝕，整機(jī)報(bào)廢現(xiàn)象?！ ≡趯?shí)際中我們發(fā)現(xiàn)真空泵不能有效抽除水蒸汽很大一部分原因是對(duì)真空泵的維護(hù)保養(yǎng)不當(dāng)所造成。所以當(dāng)真空泵抽除蒸汽時(shí)正確的維護(hù)保養(yǎng)就顯得尤為重要。下面列舉了一些用戶容易忽視的但對(duì)于油封真空泵抽除蒸汽是相當(dāng)重要的保養(yǎng)方法?！ ?.建議每天觀察潤(rùn)滑油，觀察其是否乳化、變質(zhì)。 2.在關(guān)閉進(jìn)氣閥的狀態(tài)下運(yùn)轉(zhuǎn)約30分鐘，使真空泵達(dá)到其工作溫度?！ ?.工作完畢后，建議讓泵繼續(xù)工作30分鐘。以便充分排除潤(rùn)滑油中的蒸汽。 4.循環(huán)工作時(shí)，泵應(yīng)常開(kāi)，使真空泵的工作溫度穩(wěn)定?！ ?.如安裝排氣管，則應(yīng)向下傾斜。這樣凝結(jié)在排氣管中的冷凝物就不會(huì)流入泵中?！ ?.2周以上時(shí)間不使用真空泵時(shí)，應(yīng)該放掉舊油，加入新油保存?！ ?.應(yīng)定期清洗氣鎮(zhèn)閥過(guò)濾器
2021
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08
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高節(jié)能油旋片式真空泵機(jī)組參數(shù)及配置：油旋片式真空泵機(jī)組，是由兩臺(tái)單級(jí)油旋片真空泵（國(guó)產(chǎn)真空泵康斯頓CNST）、以及變控箱等組成?？邓诡D旋片式真空泵采用德國(guó)技術(shù)、西門子電機(jī)配套，在使用壽命及穩(wěn)定性上效果更佳。油旋片式真空泵機(jī)組系統(tǒng)優(yōu)勢(shì)在于旋片真空機(jī)組結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、節(jié)能效果好。這款油旋片式真空機(jī)組采用了油分離技術(shù)設(shè)計(jì)，可有效減少空氣污染，在環(huán)保節(jié)能上效果明顯，因?yàn)楦吖?jié)能油旋片式真空泵機(jī)組在工業(yè)使用非常廣泛。油旋片式真空機(jī)組參數(shù)：最大抽氣量：300 m3/h極限壓力：小于等于0.1~0.5mbar配用功率：7.5kw外觀尺寸：長(zhǎng)1200*寬600*高1540 mm 油旋片式真空機(jī)組配置：1、X-302真空泵2臺(tái)，直聯(lián)傳動(dòng)， 7.5KW電機(jī) ；2、內(nèi)部連接管道 材質(zhì)PVC；3、進(jìn)氣過(guò)濾器；4、1m3緩沖罐 材質(zhì)CS; 5、進(jìn)氣口真空止回閥；6、進(jìn)氣口真空手動(dòng)閥；7、電器控制柜，過(guò)流過(guò)載保護(hù)；8、入口數(shù)顯真空表 ；深圳恒才機(jī)電設(shè)備有限公司致力于泵浦工程，提供真空泵設(shè)計(jì)、選型、安裝、調(diào)試、維保等一站式服務(wù)，主營(yíng)水環(huán)真空泵、旋片真空泵、羅茨真空泵、螺桿真空泵、干式真空泵、真空機(jī)組配套、真空系統(tǒng)、真空解決方案等，為客戶提供泵浦方面的優(yōu)質(zhì)工程方案。
2021
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羅茨水環(huán)真空機(jī)組，可用于片材擠出機(jī)行業(yè)，水環(huán)真空泵和羅茨真空泵的合理選型機(jī)搭配一起使用，配置了真空過(guò)濾系統(tǒng)及水箱，形成良好的抽真空系統(tǒng)，組成羅茨水環(huán)真空機(jī)組。羅茨水環(huán)真空機(jī)組應(yīng)用于片材擠出行業(yè)，也可稱為PET真空機(jī)組、片材擠出真空泵等，那么了解下此真空機(jī)組具有哪些特點(diǎn)：1.采用康斯頓羅茨真空泵，水環(huán)真空泵作為前級(jí)泵預(yù)抽真空，真空度可達(dá)到-101kpa，保障片材生產(chǎn)質(zhì)量2.司倍克水環(huán)真空泵為上偏心運(yùn)作，具有磨損小特點(diǎn)，恒才機(jī)電設(shè)計(jì)了閉環(huán)式循環(huán)水工作，節(jié)約水資源且耗能低3.片材擠出真空泵配置過(guò)濾器，可以過(guò)濾雜質(zhì)、粉塵等4.配置冷卻水箱，有效控制羅茨水環(huán)真空機(jī)組運(yùn)作溫度過(guò)高5.配置大功率變頻控制柜，大抽速真空泵，保障真空機(jī)組穩(wěn)定運(yùn)行，提高生產(chǎn)效率PET真空機(jī)組的應(yīng)用既改善了PET片材擠出生產(chǎn)的質(zhì)量，又加大功率提高了生產(chǎn)效率，閉環(huán)循環(huán)水生產(chǎn)，更節(jié)能環(huán)保。深圳恒才機(jī)電設(shè)備有限公司致力于泵浦工程，生產(chǎn)真空泵，及代理司倍克、阿特拉斯品牌真空泵，有水環(huán)真空泵、旋片真空泵、羅茨真空泵、螺桿真空泵、干式真空泵，及真空機(jī)組配套、真空系統(tǒng)、真空解決方案等，深圳恒才機(jī)電堅(jiān)持為客戶提供優(yōu)質(zhì)的真空解決方案及真空設(shè)備服務(wù)。
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